Вакуумные насосы Edwards Vacuum производятся в Англии.Edwards является частью швейцарской компании Atlas Copco и занимает лидирующие позиции среди производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Сегодня в компании работает 4200 сотрудников на предприятиях более чем в 30 странах. Основная вектор развития компании - разработка инновационных продуктов в области вакуумной техники, оптимизация процессов на самых требовательных к ресурсам приложениях.
Название или модель |
Edwards STP-L301C |
Производитель |
Edwards Vacuum |
Страна |
Англия |
Диапазон |
Высокого и сверхвысокого вакуума |
Частота вращения |
48000 об/мин |
Скорость откачки по азоту |
260 л.с. |
Скорость откачки по водороду |
290 л.с. |
Степень сжатия по азоту |
> 108 |
Степень сжатия по водороду |
> 2 · 104 |
Предельное остаточное давление |
6.5 · 10-6 Па (5 · 10-8 Торр) | 10-8 Па (10-10 Торр) |
Максимальное рабочее давление |
6,7 · 10-2 Па (5 · 10-4 Торр) |
Максимально возможное давление на выходе |
13 Па (0.1 Торр) |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
По запросу |
Время запуска |
< 3 мин |
Положение в пространстве |
По запросу |
Входной фланец |
VG100 / ISO100 | ICF152 |
Выходной фланец |
KF25 |
Охлаждение |
По запросу |
Допустимая температура окружающей среды |
По запросу |
Вес |
13 кг |
Смазка подшипников |
По запросу |